Trên sàn sản xuất, chỉ một biến động nửa độ trong quá trình nướng photoresist cũng đủ làm lệch kích thước đường mạch và gây ra lượng phế phẩm lớn....

Trên sàn sản xuất, thời gian hoạt động RTP và kiểm soát nhiệt độ không phải là tùy chọn. Nếu đèn bị trôi hoặc bộ gia nhiệt không giữ được độ đồng...