Trên khu vực xử lý bằng phương pháp lithography, sự thay đổi nhiệt độ của PEB không được hiển thị qua đèn báo động. Thay vào đó, điều này biểu hiện qua việc độ rộng của các đường kẻ trên wafer thay đổi, giới hạn liều lượng chiếu xạ bị suy giảm, và số lượng sản phẩm lỗi tăng lên; những vấn đề này chỉ có thể được phát hiện sau khi quy trình đã hoàn tất. Chúng tôi chế tạo thiết bị sưởi này để loại bỏ những yếu tố gây ảnh hưởng này, bởi vì hóa chất dùng trong quy trình phơi sáng sẽ không tha thứ cho bất kỳ sự sai lệch nhiệt độ nào.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng công nghệ hồng ngoại tần số thấp, kết hợp với vật liệu thủy tinh halogen, để truyền nhiệt trực tiếp vào wafer. Điều này giúp giảm độ trễ nhiệt, từ đó tăng tốc độ ổn định nhiệt độ. Trên bề mặt sưởi, độ đồng đều của nhiệt độ trên wafer được giữ ở mức ±0,1°C, và độ ổn định của nhiệt độ cũng rất cao, giúp đảm bảo rằng các kích thước quan trọng của wafer không bị thay đổi từ lô này sang lô khác.
Thiết bị này có thể được lắp đặt trong môi trường phòng sạch loại 1–100. Các vật liệu và bộ phận kín được chọn sao cho không tạo ra bụi bẩn, đồng thời kiểm soát tốt các chất thải phát sinh. Trong quá trình sản xuất, thiết bị này cần phải hoạt động liên tục – nó được thiết kế để hoạt động 24/7 mà không có sự gián đoạn nào, ngay cả khi lịch trình sản xuất không cho phép sự gián đoạn.
Tại sao thiết bị này lại hiệu quả? Trong quy trình xử lý bằng phương pháp photorezyst, bước PEB chính là yếu tố quyết định việc tạo ra các mô hình trên wafer. Thiết bị sưởi này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, giúp quy trình xử lý diễn ra một cách đồng đều, dù bạn đang sử dụng phương pháp sưởi mềm, PEB hay sưởi cứng.
Kết quả là việc kiểm soát kích thước wafer trở nên chính xác hơn, số lượng sản phẩm lỗi giảm xuống, và hiệu suất sản xuất ổn định hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống nhờ vào khả năng truyền nhiệt hiệu quả và việc kiểm soát nhiệt độ chính xác. Thời gian bảo trì cũng được kéo dài nhờ vào việc các linh kiện được chế tạo chắc chắn và thiết kế nhiệt độ ổn định.
Những điều cần lưu ý Việc lắp đặt thiết bị khá đơn giản, nhưng vẫn cần chú ý đến các yếu tố như đường dẫn khí, quy trình xử lý khí, và các cơ chế an toàn trong hệ thống. Hãy đảm bảo rằng bộ điều khiển hiện có có thể đáp ứng được tốc độ phản ứng của thiết bị sưởi; nếu vòng lặp PID quá chậm, bạn sẽ không thể tận dụng được tối đa hiệu quả của thiết bị này.
Hãy thử nghiệm với một lô sản phẩm nhỏ để so sánh dữ liệu nhiệt độ với dữ liệu độ rộng của các đường kẻ trên wafer, sau đó mới thiết lập lại các thông số kỹ thuật một cách chính xác.