别再浪费热量了
在半导体制造厂里，每一瓦特的能量被浪费掉，其实就相当于白白扔掉了钱。很多人并没有意识到这一点：加热元件产生的大量红外能量其实都流失到了腔室墙壁上，造成了极大的浪费。
因此，我们才使用镀金反射器。虽然听起来很高级，但其目的很简单——确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让整个房间都变热。
为什么选择黄金？
普通的石英灯会向各个方向散发辐射。而通过添加一层薄薄的黄金，我们可以将98%以上的近红外能量反射回来。这样一来，热量就能更集中地作用于目标区域，从而更快达到所需的温度。而且，由于不必通过提高电压来弥补能量损失，灯丝的损耗也会大大减少。
让热量精确地到达需要之处
真正的关键在于反射器的形状。我们可以通过调整反射器的形状，来精准控制热量在晶圆上的分布。如果使用未经调校的反射器，就会出现局部温度不均匀的情况。而有了合适的反射器后，整个表面的温度就能保持稳定且可控。
反面效应（因为总会有代价）
不过，这种高效率的加热方式也有它的缺点：当能量如此集中时，灯的电极会受到损伤。此外，外壳还必须承受那些反射回来的热量。所以，不能忽视冷却系统的作用。如果气流不足，灯就会更快损坏。因此，必须确保冷却系统能够承受更高的热量负荷。
总结
我们设计的这些产品，就是为了替代现有的红外加热装置。只需将它们连接到现有的控制器上即可使用。最棒的是，这样不仅可以降低能耗，还能保持稳定的工艺温度。同时，由于减少了热量泄漏，HVAC系统也会受益匪浅。