可持续的制造解决方案

别再浪费热量了 在半导体制造厂里，每一瓦特的能量被浪费掉，其实就相当于白白扔掉了钱。很多人并没有意识到这一点：加热元件产生的大量红外能量其实都流失到了腔室墙壁上，造成了极大的浪费。 因此，我们才使用镀金反射器。虽然听起来很高级，但其目的很简单——确保热量能够直接作用于晶圆上，而不是让整个房间都变热...