硅片烘干红外灯

在晶圆干燥过程中，即使只有半度的温度偏差，也足以导致关键尺寸出现偏差，进而引发光刻胶缺陷。因此，需要确保热量能够精确地达到工艺要求，而且这一要求必须在每轮加工、每个批次中都得到满足。这就是这些用于硅晶圆干燥的红外灯所需要满足的条件。 从技术层面来看，重要的是： 我们使用的是短波红外发射器，这类发射...