节能型半导体加热器

别再加热机器的墙壁了，把热量用在晶圆上吧！ 你是否注意到，半导体制造设备中的墙壁会变得极其烫热？这是个非常常见的问题。大多数加热装置都是将能量向四周散发，这样就会浪费大量电能来加热机器的框架，而非真正的晶圆。这实在是一种浪费。 因此，我们采用了定向红外线加热技术。 其工作原理 可以把它想象成灯泡与...