别再把洁净室中的传送车变成“烤箱”了 大多数加热元件都是向四周散发热量的。在半导体洁净室里，这种做法只会带来麻烦。使用传统加热器时，设备内部的墙壁会吸收大量多余的能源。其结果是：设备外壳会变得过热，而那些敏感的部件则因为热膨胀而变形。这简直是一团糟。 将热量引导到正确的地方 为了解决这个问题，我们...

别再加热机器的墙壁了，把热量用在晶圆上吧！ 你是否注意到，半导体制造设备中的墙壁会变得极其烫热？这是个非常常见的问题。大多数加热装置都是将能量向四周散发，这样就会浪费大量电能来加热机器的框架，而非真正的晶圆。这实在是一种浪费。 因此，我们采用了定向红外线加热技术。 其工作原理 可以把它想象成灯泡与...

防止噩梦发生：如何避免红外灯爆裂 如果在半导体制造过程中，红外灯在高负荷工作时发生爆裂，那无疑是一场灾难。问题不仅仅是灯泡无法正常工作而已，还有那些碎片和化学物质会掉落在晶圆上，从而立即破坏晶圆的品质。这绝对是没人愿意面对的问题。 正因如此，我们才采用了特殊的工艺来制造镀金红外灯。 秘诀就在于黄金...

为什么我们选择红外固化技术来处理无铅芯片 说实话，那些传统的对流式烤箱实在效率低下。它们体积庞大、加热速度慢，而且还需要大量能源来为芯片周围的空气加热。 正因如此，人们开始转向使用红外固化技术。这是一种更高效的方式，能够满足“环保”和“无铅”的要求，同时不会影响生产线的效率。与其给整个房间加热，不...

在晶圆制造现场，人们需要迅速学会如何控制温度。即使光刻胶在烘烤过程中温度仅有1°C的波动，也足以导致线宽发生变化，从而使300毫米的晶圆变成废品。因此，软烘烤和硬烘烤过程中的温度控制必须非常精确，几乎没有误差空间。热均匀性并非可有可无的要素——它直接决定了产品的合格率。 我们设计的半导体红外加热灯...

在300毫米生产线中，胶水固化过程并非简单的热处理步骤而已。实际上，它是一种对产品尺寸有严格要求的工序。如果温度出现几度的偏差，光刻胶的分布就会发生变化，从而影响芯片的质量。因此，我们选择使用红外技术来处理半导体用胶水，以此减少这种不确定性。 关键在于如何精确控制温度 我们使用近红外光来加热胶水和...

在芯片制造过程中，无论是软烘烤还是硬烘烤阶段，温度波动所带来的问题并不仅仅是线条宽度的变化而已。这种温度波动会逐渐影响产品的合格率与重复性。当烤箱无法在整个晶圆表面保持恒定的温度时，光刻胶的厚度就会发生变化，进而影响蚀刻效果。这样一来，原本可用于控制工艺参数的能量就被用来处理这些异常情况，而无法用...