别再加热机器的墙壁了，把热量用在晶圆上吧！
你是否注意到，半导体制造设备中的墙壁会变得极其烫热？这是个非常常见的问题。大多数加热装置都是将能量向四周散发，这样就会浪费大量电能来加热机器的框架，而非真正的晶圆。这实在是一种浪费。
因此，我们采用了定向红外线加热技术。
其工作原理
可以把它想象成灯泡与手电筒的区别。普通灯泡会将热量散布到各个方向，而定向红外线灯则能将光束集中起来。我们可以控制光束的角度，让能量准确地作用于需要加热的地方。
这样一来，昂贵的设备就不会像“吸热海绵”一样吸收不必要的热量。工作件的温度可以得到精确控制，而设备外壳则保持凉爽。
安全性与电费节省
当墙壁不再过热时，大家的工作环境也会更加舒适。技术人员可以更轻松地进行维护或检查，而不必担心被烫伤。此外，还可以节省电费——因为不需要再为加热那些并不需要保持高温的金属框架而付出代价。
不过有一点需要注意：由于能量被集中在一个点上，该点的温度会非常高。如果所用材料比较敏感的话，就需要调整灯具的距离和脉冲频率，以避免出现局部过热的情况。
安装方式
这些灯具设计得十分方便，无需拆解整个设备或重新设计布局即可安装。不过，对准度非常重要。如果灯具的位置有哪怕几度的偏差，热量就会再次散布到墙壁上。为确保一切正常，建议使用精确的PID控制器来控制输出，这样就不必再担心这个问题了。