在化学工厂中干燥部件时，其实就像是在玩火——真的是如此。周围到处都是易挥发的清洁剂。在这种环境下，哪怕有一点点火花，或者某个发热的部件接触到不该接触的东西，都可能让整个工作日陷入灾难之中。因此，我们不会简单地把灯放入盒子里，而是会将其封装起来，以确保不会出现这种情况。 封装的重要性 想象一下普通的...

别再加热机器的墙壁了，把热量用在晶圆上吧！ 你是否注意到，半导体制造设备中的墙壁会变得极其烫热？这是个非常常见的问题。大多数加热装置都是将能量向四周散发，这样就会浪费大量电能来加热机器的框架，而非真正的晶圆。这实在是一种浪费。 因此，我们采用了定向红外线加热技术。 其工作原理 可以把它想象成灯泡与...

在处理易挥发化学物质的场合中，如何确保加热过程的安全性？说实话，在化学清洗线上对晶圆进行加热是一项极其危险的工作。周围充满了易燃易爆的蒸汽，而加热设备则直接处于这些危险物质之中。 普通的红外灯根本无法胜任这项工作。哪怕有那么一点火花或高温表面接触到化学蒸汽，都可能引发灾难性后果。我们花了大量时间来...

在晶圆厂车间，任何用于干燥的瓦特数，都是无法用于工艺裕度的瓦特数。传统的烘箱和热板通常会超出热预算，在追求光刻实际所需的±0.1°C均匀性时浪费能源。你需要的是快速、洁净且可重复的干燥——同时能控制公用事业费用不失控。 技术关键点 我们将干燥步骤构建在针对水和溶剂吸收调谐的近红外（NIR）加热上，...