节能型晶圆加热器

在处理易挥发化学物质的场合中，如何确保加热过程的安全性？说实话，在化学清洗线上对晶圆进行加热是一项极其危险的工作。周围充满了易燃易爆的蒸汽，而加热设备则直接处于这些危险物质之中。 普通的红外灯根本无法胜任这项工作。哪怕有那么一点火花或高温表面接触到化学蒸汽，都可能引发灾难性后果。我们花了大量时间来...