MEMS传感器晶圆干燥加热器

正确干燥MEMS传感器晶圆的方法 干燥MEMS传感器晶圆是一项技术要求很高的工作。如果热量分布不均，表面张力就会起作用，导致传感器膜层粘在一起，从而损坏这些敏感的传感器结构。 为避免这种情况发生，我们使用专门的红外加热元件。其目的很简单：迅速蒸发掉残余的液体，同时又不破坏传感器本身。 温度控制的关...