别再把洁净室中的传送车变成“烤箱”了
大多数加热元件都是向四周散发热量的。在半导体洁净室里，这种做法只会带来麻烦。使用传统加热器时，设备内部的墙壁会吸收大量多余的能源。其结果是：设备外壳会变得过热，而那些敏感的部件则因为热膨胀而变形。这简直是一团糟。
将热量引导到正确的地方
为了解决这个问题，我们可以采用定向红外线加热技术。与其说它像普通电暖器，不如说它更像是手电筒——它不会去加热空气或金属外壳，而是直接将电磁辐射照射到工件上。只有当能量遇到能够吸收这些波长的表面时，它才会被利用起来。通过使用带有反射层的灯泡或聚焦石英外壳，我们可以让热量准确地传递到工件上，从而避免“烤箱效应”。这样一来，虽然工件可以达到所需的温度，但设备外壳却依然保持凉爽。
保护操作人员的安全
降低设备外壳的温度，不仅仅是为了节省电费，更重要的是为了保护操作人员的安全。如果外壳保持凉爽，那么在装卸零件或进行简单维护时，就不用担心有人会被烫伤了。不过，使用时仍需注意功率的问题。高密度红外线灯泡的加热速度很快，但如果功率过大且没有适当的防护措施，热量仍然会渗入设备框架中。我建议使用镀金或抛光铝制成的反射器，以使光线更加集中。
折中方案
相比旧系统，采用定向加热技术其实相当简单。不过，这确实会改变设备的加热方式。由于热量高度集中，如果工件没有放置在正确的位置，就可能会出现“冷点”。因此，必须确保工件的定位非常精确。哪怕有微小的偏差，都会导致加热不均匀。