牛津仪器加热元件

在生产线中，温度并非只是一个可调节的数值，而是一个直接影响工艺流程的关键因素。无论是软烘还是硬烘，哪怕温度只发生变化半度，都可能影响CD的精度、改变光阻层的厚度，进而导致产品合格率下降。牛津仪器的加热元件正是为应对这种状况而设计的：它能够将热量精准地传递到晶圆所需的部位，同时不会产生额外的干扰。...