TEL 东京电子 加热灯

在芯片制造过程中，产率的好坏取决于温度和时间的精确控制。只要温度偏差达到1度，或者晶圆上出现局部过冷的情况，光刻胶的性能就会下降。这样一来，线路宽度的控制就变得极为困难，缺陷率也会上升。 因此，TEL加热灯能够将温度控制在理想的范围内，确保其始终处于工艺要求的范围内。 核心优势 这些加热灯结合了短...