自动晶圆干燥加热器

在晶圆厂车间，光刻胶处理和后清洗干燥过程中几乎没有出错的余地。我们讲的是纳米级别的公差。烘烤温度一旦漂移、干燥曲线不均匀，或者加热过程中混入一粒杂质，都可能导致大量晶圆报废。 我们开发了自动化晶圆干燥加热器，将这些变量控制在可控范围内。 核心技术要点 该装置采用短波红外（NIR）发射器，并配备闭环...