クラス100のクリーンルームで、汚染を防ぎながら加熱を行うにはどうすればよいのか？
実際、クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは非常に難しいことです。目に見えない微小な粒子と絶えず戦わなければなりません。問題は、一般的な加熱要素はこのような状況には適していないということです。加熱されると膨張し、微小な粒子が放出されてしまいます。これは、汚染をゼロにしたいと思っている場合には望ましくありません。
そこで、私たちが使うのが防水型の赤外線ランプです。高純度の合成石英を使用しており、特に洗浄工程での加熱に最適です。
秘密は石英にあります 高いOH-含有量を持つ融成シリカ石英を使用しています。簡単に言えば、高温になっても管が破損したり、有害な化学物質が漏れ出したりすることがありません。
洗浄環境では、ランプ表面に付着した微小な汚れが湿気と一緒に工作物に移ってしまう可能性があります。それを防ぐために、ランプが工場を出る前に、化学的に処理して表面の汚れを完全に除去します。
水と熱の対処法 洗浄工程は過酷です。高湿度の中で水があちこちに飛び散ります。安全を確保するために、電極と石英の接続部分を医療用の密封材で密閉しています。これにより、水分がタングステンフィラメントに届くのを防ぎます。しかし、水が高温の管に当たると、急激な熱衝撃が生じます。私たちは、効率的に熱を伝えつつ、圧力に耐えられる最適な壁厚を見つけるために多くの時間を費やしました。
注意点 正直に言うと、高純度の石英は熱を効果的に放出できますが、壊れやすいのです。 **絶対に素手で触ってはいけません。**皮膚から出る油分がガラス上に「ホットスポット」を作り、それが原因でランプが破損することがあります。 また、これらのランプは電圧の変動にも敏感です。突然の電圧上昇によってフィラメントが破壊されることがあります。ゆっくりと電力を上げるために、専用のPIDコントローラーを使用することを強くお勧めします。これにより、多くのトラブルを避けることができます。
設置方法 これらのランプは、既存の洗浄タンクに直接取り付けられるように設計されています。防水性があるため、液体の表面に近づけて設置でき、その結果、熱の損失が大幅に減少します。 ただ一点、注意が必要です。取り付けブラケットはステンレス316Lであることが重要です。これにより、腐食を防ぎ、クリーンルームの基準を維持できます。