IRランプによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。
高負荷のグローブボックスを使用している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。IRランプが破損すると、単に装置が停止するだけでなく、大変な混乱に陥ります。石英の破片や微細な粒子がウェーハの上に降り注ぎます。これは災害です。しかし、これは完全に避けることができます。
私たちは、このような二次的な汚染が起こらないように、特別に設計されたIR素子を使用しています。
なぜこれらのチューブが破損するのでしょうか？
通常、熱ショックや局所的な過熱が原因です。チューブ壁の厚さに対して電力密度が高すぎると、石英はその応力に耐えられずに破損してしまいます。
これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。この石英は特定の熱膨張係数を持っており、急激な温度変化にも耐えられます。つまり、高ワット数の電力を投入しても、チューブは壊れません。
安全対策の追加
私たちは、単にガラスが強いことだけに頼っていません。二重の保護層を設けています。まず、高温用の保護スリーブや特殊なコーティングを施します。これは、まるで保険のようなものです。内部のフィラメントが燃え尽きてチューブが破損しても、外側のスリーブが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハはきれいなままです。
また、コネクタにも工夫を凝らしています。多くの人が見過ごしがちですが、接触部が緩むとアーク現象が発生し、シール部分に過熱が生じます。私たちは精密に調整された端子を使用して、そのような問題を未然に防いでいます。
正直なトレードオフ
高出力のIR素子は、大量の熱を発生させます。安全対策を施すため、発光スペクトルにわずかな変化が生じたり、熱伝達が少し低下することがあります。しかし、それは安心感のための妥当な代償です。目標温度に到達するためには、PIDの調整やウェーハの保持時間を少し長くする必要があるでしょう。
24時間稼働している場合は、冷却ファンにも注意しましょう。どんなに優れた安全設計があっても、グローブボックス内の空気が石英が耐えられないほど高温になってしまうと、ランプは破損してしまいます。常に適切な風量を維持すれば、シール部も長持ちします。