ウェーハバーンイン試験用加熱ランプ

ファブ内では、バーンイン処理やフォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、完全に歩留まりを失わせてしまいます。ウェーハ全体で0.5℃の温度不均一性があると、その勾配がフォトレジストに直接影響を与え、露光・現像後に寸法誤差につながります。したがって、熱を単なるランダ...