フォトレジスト剥離サポートヒーター

リソグラフィフロアでは、ストリッピングチャンバーの温度変動に妥協はない。ウェハ全体で0.5℃の温度差が生じると、薄いフォトレジストの残留やマイクロスカムの発生、さらには粒子数の増加を招く。まさにこの点で、フォトレジストストリッピング用サポートヒーターが役割を果たす。熱境界条件を安定的に保持し、化学...