ファブ乾燥におけるエネルギー削減

Role ファブフロアでは、乾燥に消費するワットはすべて、プロセスマージンに使えないワットである。従来型のオーブンやホットプレートは、熱予算を超過しがちであり、リソグラフィに必要な±0.1℃の均一性を追求する過程でエネルギーを浪費している。乾燥は迅速でクリーンかつ再現性があり、かつ光熱費が跳ね上が...