IR 램프가 웨이퍼를 망가뜨리는 것을 막으세요.
고부하의 글로브박스를 사용한다면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 계실 것입니다. IR 램프가 고장나면, 단순히 가동 중단만이 문제가 아닙니다. 석영 조각들과 미세한 입자들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이는 정말 큰 재앙입니다. 하지만 이런 상황은 충분히 피할 수 있습니다.
우리는 그러한 2차 오염이 일어나지 않도록 특별히 설계된 IR 소자를 사용합니다.
왜 이러한 램프들이 깨지는 걸까요?
보통은 열충격이나 특정 부분의 과도한 열 때문입니다. 램프 벽의 두께에 비해 전력 밀도가 너무 높으면 석영이 그 압력을 견디지 못하고 깨져버립니다.
이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이 석영은 특정한 열팽창 계수를 가지고 있어서 빠른 주기의 작동에도 견딜 수 있습니다. 결과적으로, 높은 와트수의 전력이 가해져도 램프는 멀쩡한 상태를 유지합니다.
안전장치 추가
우리는 단순히 유리가 튼튼하다는 점에만 의존하지 않습니다. 이중 보호 장치를 사용합니다. 먼저, 고온 보호 캡이나 특수 코팅을 추가합니다. 이는 일종의 보험이라고 생각하시면 됩니다. 내부 필라멘트가 타버려 램프가 깨져도, 외부 캡이 모든 파편들을 가둬줍니다. 그렇게 되면 웨이퍼는 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
또한, 커넥터에도 많은 신경을 씁니다. 대부분의 사람들은 이 부분을 간과하지만, 연결부가 느슨하면 아크가 발생하여 밀폐 부위에 열이 발생합니다. 우리는 정밀하게 맞춰진 단자를 사용하여 그러한 문제를 사전에 방지합니다.
현실적인 타협점
높은 출력을 내는 IR 소자는 엄청난 양의 열을 발생시킵니다. 안전장치를 추가함으로써, 완전히 노출된 램프에 비해 방출 스펙트럼에 약간의 변화가 있거나, 열 전달률이 약간 낮아질 수 있습니다. 하지만 이는 안심할 수 있다는 점에서 합리적인 타협입니다. 다만, 목표 온도에 도달하기 위해서는 PID 설정을 조정하거나 웨이퍼를 조금 더 오래 두어야 할 수도 있습니다.
24시간 내내 램프를 사용하는 경우, 냉각 팬을 주의 깊게 관리해야 합니다. 아무리 좋은 안전 설계라도, 글로브박스 내부의 공기가 너무 뜨거워져 석영이 견디지 못한다면 램프를 보호할 수 없습니다. 공기 흐름을 안정적으로 유지하면 밀폐 부위도 더 오래 견딜 수 있습니다.