TEL (도쿄일렉트론) 히터 램프

제조 현장에서는 온도와 시간에 따라 제품의 품질이 결정됩니다. 굽기 과정에서 약간의 오차가 생기거나 웨이퍼의 특정 부분이 차가워지면, 포토레지스트의 성능이 저하됩니다. 그러면 선의 굵기를 제어하는 것도 어려워지고, 결함 발생 가능성도 높아집니다. 그래서 TEL 히터...