베스트셀러 웨이퍼 히터 2026

제조 현장에서는 온도 제어가 생사와 직결된다. 포토레지스트 공정에서 0.1도 차이는 정상 공정과 폐기 공정의 경계다. 열 불균일은 중요한 치수를 변화시키는 국부 과열을 만들고, 냉점은 푸팅과 스컴 현상을 유발한다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 열 예산이 변동하며, 베이크 단계...