실리콘 웨이퍼 건조용 적외선 램프

웨이퍼 건조 과정에서 단 0.5도의 온도 변화만 있어도 치명적인 오차가 발생할 수 있으며, 이로 인해 리지스트에 결함이 생길 수 있습니다. 따라서 공정 카드에 명시된 대로 정확한 온도를 유지해야 합니다. 이것이 바로 이 실리콘 웨이퍼 건조용 적외선 램프가 설계될 때...