자동 웨이퍼 건조 히터

공정 현장에서는 포토레지스트 처리와 후속 정리 건조 과정에서 실수가 발생할 여지가 많지 않습니다. 우리는 나노미터 수준의 허용 오차에 대해 이야기하고 있습니다. 베이크 온도가 변하거나, 건조 프로파일이 균일하지 않거나, 가열 중에 하나의 이물질이 유입되면 많은 웨이퍼...