减少工厂干燥中的能耗

在晶圆厂车间，任何用于干燥的瓦特数，都是无法用于工艺裕度的瓦特数。传统的烘箱和热板通常会超出热预算，在追求光刻实际所需的±0.1°C均匀性时浪费能源。你需要的是快速、洁净且可重复的干燥——同时能控制公用事业费用不失控。 技术关键点 我们将干燥步骤构建在针对水和溶剂吸收调谐的近红外（NIR）加热上，...