MEMS ওয়েফারগুলোকে সঠিকভাবে শুকানো
MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকানো বেশ কঠিন কাজ। যদি তাপ বণ্টনটি সঠিকভাবে না করা হয়, তাহলে পৃষ্ঠটানের কারণে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যায়।
এটা এড়াতে আমরা বিশেষ ধরনের ইনফ্রারেড হিটিং উপাদান ব্যবহার করি। লক্ষ্যটি খুবই সরল—অবশিষ্ট তরলগুলোকে দ্রুত বাষ্পীভূত করা; কিন্তু সেন্সরগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত না করে।
তাপ বণ্টনের সমস্যা
পাওয়ার ডেনসিটি নিয়েও সমস্যা রয়েছে। ওয়েফারের সর্বত্র তাপমাত্রা সমান থাকা দরকার। যদি কোনো জায়গায় তাপমাত্রা বেশি হয়, তাহলে ওয়েফারটি বিকৃত হয়ে যায়।
আমরা উচ্চ ওয়াটেজ ডেনসিটি সম্পন্ন হিটার ব্যবহার করি; কিন্তু এর ফলে পাওয়ার সাপ্লাইয়ে চাপ পড়ে। তাই নিশ্চিত হওয়া দরকার যে আপনার বৈদ্যুতিক সরবরাহ ব্যবস্থা ঐ চাপ সামলাতে সক্ষম।
পরিষ্কার রাখা
ফ্যাবরিকেশন প্রক্রিয়ায় দূষণ খুবই বড় সমস্যা। একটি ছোট্ট ধাতব কণাও পুরো ওয়েফারটিকে নষ্ট করে দিতে পারে।
এজন্যই আমরা হিটিং ফিলামেন্টগুলোকে উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ টিউবে রাখি। এতে কোনো ধরনের ধাতব কণা ওয়েফারে প্রবেশ করতে পারে না। আমরা টাঙ্গস্টেন ব্যবহার করি; কারণ এর গলনাঙ্ক খুব উঁচু, ফলে এটি স্থিতিশীল থাকে। আমরা সেইসব সস্তা ধাতুগুলো এড়িয়ে চলি; কারণ এগুলো কয়েক সপ্তাহ ব্যবহারের পরই ক্ষয়প্রাপ্ত হয়ে যায়।
বাস্তব জীবনের চ্যালেঞ্জসমূহ
আমরা এগুলোকে সাধারণ ড্রায়িং মডিউলগুলোর বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করেছি। আমরা কানেক্টরগুলোকেও আরও শক্তিশালী করেছি; যাতে মেশিন কাজ করার সময় ল্যাম্পগুলো নড়ে না যায়।
কিন্তু গতি ও চাপের মধ্যে ভারসাম্য বজায় রাখা দরকার।
দ্রুত শুকানোর জন্য ভোল্টেজ বাড়ানো আকর্ষণীয় মনে হলেও, এর ফলে থার্মাল শক হতে পারে। ল্যাম্পের আউটপুট ও কনভেয়রের গতির মধ্যে সঠিক ভারসাম্য খুঁজে বের করা দরকার। নইলে ওয়েফারের কিনারাগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।
আরেকটি পরামর্শ—হিটারটির ক্ষমতা অতিরিক্ত না করুন। যদি হিটারটির ক্ষমতা বেশি হয়, তাহলে কুলিং ফ্যানগুলো ১০০% কাজ করতে বাধ্য হবে; ফলে হিটারটি গলে যাবে।