Während des Prozesses wird die 300-mm-Wafer in die Trocknungsstation geführt. Der Fotolack muss innerhalb weniger Sekunden auf die jeweilige Zieltemperatur gebracht werden. Wenn man diese Frist verpasst, beginnt die CD-Kontrolle aus dem Ruder zu laufen – und das hat negative Auswirkungen auf die Produktqualität.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben die Infrarotheizgeräte für Reinräume so konstruiert, dass sie kurzwellige NIR-Strahlen verwenden. Dadurch erfolgt eine schnelle und effiziente Energieübertragung. Durch das Schließkreissystem bleibt die Temperatur auf einem Wert von ±0,1°C konstant. Dadurch entsteht eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Wafer-Oberfläche – diese Information kann direkt aus den Datenerfassungen abgelesen werden, ohne dass man sie im Bericht nachvollziehen muss.
Das Quarzkörper sowie der keramische Aufbau sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet: Es kommt zu wenig Gasausstoß, und es wird verhindert, dass Partikel entstehen. Die Leistungsdichte ist so angepasst, dass sowohl bei sanfter als auch bei intensiver Trocknung eine konstante Temperatur erreicht wird – ohne Überschreitung der Grenzwerte.
Warum das bei der Lithografie und beim Waferverarbeitungsprozess wichtig ist
Bei der Lithografie und bei der Waferverarbeitung ist die Trocknungsphase entscheidend für die Qualität des Produkts. Mit einer präzisen Temperaturregelung werden Unterschiede zwischen den verschiedenen Chargen minimiert. Das bedeutet weniger Ausschuss und eine konstante CD-Gleichmäßigkeit.
Die Heizgeräte erreichen schnell die eingestellte Temperatur und halten sie konstant – ohne Schwankungen. Dadurch wird der Energieverbrauch reduziert. Zudem ist die Zuverlässigkeit der Geräte so gestaltet, dass sie 24/7 ohne nennenswerte Wartungsarbeiten funktionieren können.
Was Sie vor der Installation beachten müssen
Diese Heizgeräte lassen sich problemlos in bestehende Trocknungsmodule integrieren. Dennoch müssen Sie die thermische Masse sowie die Montagegeometrie an die Bedürfnisse des Reinraums anpassen. Sie müssen frühzeitig über die Schnittstellen nachdenken – Abstände, Ausrichtung sowie der Platz für die Temperatursensoren sind entscheidend für die Funktionsweise des Systems.
Stellen Sie außerdem sicher, dass die Spannungsanforderungen sowie der Anschlusstyp zu Ihrem Equipment passen. Prüfen Sie außerdem die Anforderungen bezüglich der Reinräumeklassifizierung für Ihren spezifischen Prozess.