Deje de calentar las paredes de la máquina (y comience a calentar los wafers en sí).
¿Alguna vez se ha fijado en lo caliente que pueden llegar a estar las paredes de una cámara de semiconductores? Es un problema muy común y frustrante. La mayoría de los sistemas de calefacción distribuyen la energía en todas direcciones, lo que significa que se gasta mucha energía calentando el chasis de la máquina en lugar del propio wafer. Es un desperdicio.
Por eso utilizamos calefacción por infrarrojos direccional.
¿Cómo funciona realmente?
Imagínelo como la diferencia entre una bombilla y una linterna. En lugar de dejar que el calor se distribuya por todas partes, las lámparas de infrarrojos direccional concentran el calor en un punto específico. Controlamos el ángulo para que la energía vaya exactamente a donde necesita ir.
El resultado: Sus costosos equipos ya no actúan como esponjas que absorben calor innecesariamente. Usted obtiene la temperatura adecuada en la pieza a trabajar, mientras que la carcasa de la máquina permanece fría.
Seguridad y su factura eléctrica
Cuando las paredes no están extremadamente calientes, todos respiran más tranquilos. Sus técnicos pueden realizar mantenimientos o inspecciones sin preocuparse por quemaduras.
Además, hay aspectos económicos: deja de gastar dinero calentando un marco metálico que no necesita estar caliente.
Un punto importante a tener en cuenta: Dado que concentramos toda esa energía en un único punto, el calor en ese lugar es muy intenso. Si su sustrato es delicado, será necesario ajustar la distancia de la lámpara y la frecuencia de pulso. No quiere crear puntos calientes accidentalmente.
Configuración
Hemos diseñado estas lámparas para que sean fáciles de instalar. No es necesario desmontar toda la cámara ni rediseñar su estructura solo para colocarlas allí.
Pero hay algo importante: la alineación es clave. Si la lámpara se desvía aunque sea unos pocos grados, el calor volverá a propagarse por las paredes. Para mantener todo estable, use un controlador PID preciso. Así, podrá olvidarse de este problema.