در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، فرآیند خشک شدن چسب، صرفاً یک مرحله حرارتی ساده نیست؛ بلکه یک محدودیت اندازهای محسوب میشود. کمی انحراف در دما، باعث تغییر در پروفایل فوتورزیست و لغزش لایههای روی ویفر میشود؛ در نتیجه، کیفیت ویفر قبل از اینکه رتیکل به آن برخورد کند، کاهش مییابد. به همین دلیل، از نور مادون قرمز برای چسباندن نیمههادیها استفاده میشود تا تغییرات ناشی از عوامل حرارتی کاهش یابد.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از نور مادون قرمز برای گرم کردن سریع لایههای چسب و فوتورزیست استفاده میکنیم. نتیجه این کار، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این مقدار در نقطه تماس لایهها اندازهگیری میشود، نه روی سطح هیترها. این دستگاه در اتاقهای پاک در حال کار است؛ عملکرد آن در شرایط کلاس ۱ تا ۱۰۰ است، هیچ ذرهای تولید نمیشود، و این موضوع از طریق نظارت مداوم بر ذرات، تأیید میشود. این دستگاه میتواند فرآیندهای گرم کردن را به طور مکرر انجام دهد، و کنترل دقیقی بر دما داشته باشد؛ همچنین، در خطوط تولید با حجم بالا، ۲۴ ساعته و بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای، کار میکند.
چرا این روش برای این فرآیند مناسب است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و چسباندن، به گرما در جای مناسب نیاز است؛ یعنی در خود لایهها، نه در سطح حاملها. نور مادون قرمز انرژی را بلافاصله و در محل دقیق مورد نظر تحویل میدهد؛ این کار باعث کاهش زمان فرآیند میشود، بدون اینکه اندازههای کلیدی تحت تأثیر قرار بگیرند. یکنواختی دما، باعث میشود که دستگاههای موجود در لبههای ویفر در محدوده مشخصی باقی بمانند و مقدار ضایعات کاهش یابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما مستقیماً جذب میشود، نه اینکه در سطح حاملها تلف شود. همچنین، قابلیت تکرارپذیری این روش، باعث میشود کنترل دقیقتری بر فرآیند اعمال شود و نیاز به بازسازی کمتر شود.
واقعیتهای مربوط به این فرآیند:
برای استفاده از نور مادون قرمز، نیاز به خط دید مستقیم و کنترل دقیق درجه بازتاب نور روی سطح پشتی ویفر وجود دارد. اگر حاملها بازتابنده یا دارای سطح نامنظمی باشند، انرژی پراکنده میشود و پروفایل حرارتی تغییر میکند. برای تنظیم دقیق پروفایل حرارتی، نیاز به زمان کوتاهی وجود دارد. پس از تنظیم، فرآیند به ثبات میرسد و دیگر هیچ تغییرات حرارتی ایجاد نمیشود.