Comment protéger les éléments en cours de chauffage lorsqu’on travaille avec des produits chimiques volatils
Pour être honnête : chauffer des wafer dans une ligne de nettoyage chimique est une tâche très dangereuse. Il y a des vapeurs inflammables et explosives dans l’air, et l’équipement de chauffage se trouve juste au milieu de tout ça.
Les lampes infrarouges standard ne sont pas conçues pour ce genre d’utilisation. Un simple éclat de flamme ou un contact entre une surface chaude et un brouillard chimique peut entraîner une catastrophe totale. Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des solutions pour éviter cela, et tout revient à savoir comment sceller correctement les composants de l’équipement.
Le secret réside dans le sceau de fermeture
Nous ne nous contentons pas de poser un couvercle sur la lampe. Au contraire, nous plaçons les éléments infrarouges à l’intérieur de tubes en quartz de haute pureté, puis nous les scellons hermétiquement.
C’est comme créer un mur physique entre les filaments électriques et l’air qui les entoure. Nous utilisons ces joints spécialisés entre le verre et le métal afin que les vapeurs chimiques ne puissent pas s’infiltrer dans l’équipement. Et si vous travaillez avec des produits chimiques particulièrement corrosifs ? Nous pouvons appliquer des revêtements résistants aux produits chimiques sur l’enveloppe extérieure, afin que le quartz ne soit pas endommagé avec le temps.
Équilibrer chaleur et stabilité
Il est difficile de maintenir une température précise sur un wafer. Pour y parvenir, nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes. Ces derniers pénètrent rapidement dans la surface du wafer, ce qui permet d’éviter de surchauffer le reste du bain chimique. Ainsi, on obtient une température plus stable et plus prévisible.
Mais il y a un inconvénient : cette densité d’énergie fait que la lampe devient très chaude. Vous devez donc veiller à ce que le châssis dispose d’un bon système de ventilation ou d’un dissipateur de chaleur efficace. Sinon, le châssis risque de se déformer sous une charge excessive.
Fonctionnement en conditions réelles
Nous avons conçu ces chauffeurs pour qu’ils puissent être utilisés directement en remplacement des anciens modèles. Vous n’avez pas besoin de réparer toute votre installation pour les utiliser.
Nous faisons passer les câbles à travers des gaines anti-explosion, ce qui réduit le risque d’arc électrique. Cependant, en raison de l’encapsulation, il faut quelques secondes de plus pour atteindre la température maximale par rapport à une lampe ordinaire. C’est un compromis nécessaire, mais c’est un compromis indispensable lorsque l’on travaille avec des solvants volatils.
Il suffit de l’associer à un contrôleur PID calibré, et vous pourrez maintenir la température dans une fourchette de +/– 1°C. Simple.