בשלב זה, הוופר בגודל 300 ממ נדחף אל תא האפייה. חומר הפוטורזיסט חייב להגיע לטמפרטורה הרצויה על כל שטח הוופר בתוך שניות בודדות. אם לא נעשה זאת, השליטה בטמפרטורה תאבד – והתוצאה תהיה ירידה באיכות המוצר.
מה חשוב באמת? בנינו את החיממים האינפרא-אדומים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, באמצעות מקורות אור אינפרא-אדום באורך גל קצר. יש צורך בהעברה מהירה של אנרגיה, ללא תנודות. מערכת השליטה האוטומטית שומרת על טמפרטורה יציבה בטווח של ±0.1°C. כך ניתן לקבל אחידות ברמת הוופר, דבר שניתן לראות ישירות מהנתונים, ללא צורך בניתוח נוסף.
המעטפת העשויה קוורץ והגוף הקרמי מתאימים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100: יש פליטה מינימלית של גזים, והמבנה שלהם מונע ייצור של חלקיקים. עוצמת האנרגיה מותאמת לתהליך האפייה, כך שהטמפרטורה נשארת יציבה במהלך כל שלבי האפייה.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ואפייה? בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד וופרים, שלב האפייה הוא השלב שבו מושקעת האנרגיה התרמית. עם שליטה טובה בטמפרטורה, השונויות בין וופרים שונים פוחתות. כך יש פחות פסולת, והאחידות בטמפרטורה נשארת יציבה.
החיממים מגיעים לטמפרטורה הרצויה במהירות, ונשארים בה ללא תנודות. כך יש צריכת אנרגיה מינימלית. בנוסף, האמינות של החיממים מאפשרת פעולה 24/7 ללא צורך בתחזוקה רבה.
מה צריך לתכנן לפני ההתקנה? החיממים האלו יכולים להתחבר בקלות למודולי אפייה קיימים, אך יש צורך להתאים את המאפיינים התרמיים ואת צורת ההתקנה לתנאים של חדר הניקיון. יש לקחת בחשבון את המרווחים, ההתאמה בין החלקים השונים, ומיקום מכשיר המדידה של הטמפרטורה. יש גם צורך להתאים את המתח וסוג החיבור לציוד שלכם, ולוודא שהחדר עומד בדרישות הנדרשות לתהליך הספציפי שלכם.