במחלקת הייצור, השינויים התרמיים במהלך תהליכי האפייה אינם קשורים רק לרוחב הקווים שנוצרים על הוופר. הם פוגעים באיכות המוצר וביכולת החזרה על אותם תוצאות. כאשר התנור אינו מסוגל לשמור על טמפרטורה קבועה על פני כל שטח הוופר, פרופילי הפוטורזיסט משתנים, וזה פוגע באיכות התהליך. במקום לשלוט בתהליך, יש צורך לתקן את הבעיות שנוצרות.
מה שאנו באמת צריכים זה שליטה שניתן למדוד – ולסמוך עליה. פיתחנו פלטפורמה תרמית בעלת דיוק גבוה, שמאפשרת שליטה אחידה על טמפרטורה ברמת הוופר, בטווח של ±0.1°C, לאורך כל תהליך הייצור. חימום באמצעות אור NIR, בשילוב עם רכיבי קוורץ מיוחדים, מאפשר תגובה מהירה ואחידה – בלי נקודות חמות או קרות.
הפלטפורמה מיועדת לשימוש בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100, ואנו מוודאים שאין ייצור של חלקיקים באמצעות מעקב בזמן אמת. החזרה על אותם תוצאות מובטחת בזכות קליברציה במעגל סגור, כך שכל תהליך אפייה יהיה דומה לקודמו.
היתרון הוא שהשינויים התרמיים נעלמים כגורם לכשלים. כך ניתן לשלוט טוב יותר בממדים החשובים של הוופר, להפחית את כמות העבודה החוזרת, ולשמור על יציבות התהליך גם בשלבים מתקדמים של הייצור.
החימום הוא ישיר ויעיל, כך שצריכת האנרגיה פוחתת. כמו כן, זמן הפעולה גדל, מכיוון שהרכיבים מיועדים לפעולה 24/7, מה שמפחית את מספר העצירות הבלתי צפויות. התוצאה היא זמני עיבוד צפויים ופחות שינויים בתהליך האפייה.
נקודה חשובה: מערכות NIR דורשות התאמה קפדנית של קו הראייה ושל רמת הקרינה לוופר. יש לצפות לזמן כיול קצר כדי להתאים את רמת הקרינה והטמפרטורה לסוג הפוטורזיסט והחומר שעל הוופר. לאחר שהכל מותאם, התהליך נשאר יציב.