בחדרי הייצור, לומדים מהר מאוד: שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי בעובי הקווים, וכתוצאה מכך להפוך שבב בגודל 300 ממ לחסר תועלת. טווחי החימום האפשריים הם צרים מאוד – אין מקום לשגיאות. אחידות תרמית אינה דבר שניתן להתעלם ממנו; היא הגורם המכריע בין הצלחה בייצור לכישלון.
בנינו את נורות החימום באינפרא-אדום שלנו כך שהן ישמרו על האחידות התרמית, שעה אחר שעה.
מה חשוב בפועל? אנו משתמשים בגלאים באורך גל קצר – הם מאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה ושליטה מדויקת בספקטרום האור. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, ללא חריגות. ניתן להשיג אחידות של ±0.1°C בכל אזור החימום, ושגיאה של ±0.5°C בהגדרות הטמפרטורה.
החלקיקים לא יכולים להיכנס למערכת, מכיוון שהחומרים מתאימים לחדרי ניקיון, והמסלול האופטי מוגן לחלוטין. נורות החימום יכולות לפעול למעלה מ-5,000 שעות, עם ירידה ביעילות של פחות מ-5%. הן מתאימות למקומות הסטנדרטיים בהם נמצאים הציודים, וניתן לשלב אותן בקלות במערכות הבקרה הקיימות.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ואריזה? בתהליכי ליתוגרפיה, האחידות הזו מביאה לפרופילים אחידים של הפוטורזיסט, לפחות צריכה לתיקונים, ולשליטה טובה יותר בגודל השבב. בתהליכי אריזה, החימום המהיר והאחיד מקצר את זמני התהליך, מבלי לגרום ללחץ על השבבים.
ומכיוון שהנורות מחממות את השבבים ישירות, אין צורך לבזבז אנרגיה על חימום האוויר בחדר. התוצאה היא תהליכים יציבים, מרווחי תחזוקה צפויים, ופחות הפסקות בלתי צפויות.
מה צריך לעשות כדי שההתקנה תהיה מוצלחת? ההתקנה כוללת התאמה אופטית ושמירה על רמת EMI/EMC גבוהה. החזרי אור לא רצויים עלולים לגרום לאזורים חמים, לכן הגנה וחסימה של אורות לא רצויים הם חלק חשוב מהתהליך.
הנורות יכולות לפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, אך הביצועים התרמיים תלויים בגאומטריה של החדר ובזרימת האוויר. תנו לנו את פרטי הציוד שלכם, ונתאים את ההגדרות בהתאם.
ההתאמות נעשות במהירות. לאחר שהתהליך מוגדר, האחידות בין התהליכים נשארת ברמה הרצויה.