מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS

ייבוש סרטי ה-MEMS בצורה נכונה ייבוש סרטי החיישנים של MEMS הוא משימה מורכבת. אם לא מווסתים את חלוקת החום כראוי, כוח המתח על פני השטח גורם להידבקות של...