בקווי הייצור בעלי אורך 300 ממ, תהליך הייבוש של הדבק אינו רק שלב תרמי נוסף – זו בעלות ממדית. שינוי של מספר מעלות בלבד יגרום לשינוי במבנה הפוטורזיסט, להזזה של השכבות השונות, ולירידה באיכות המוצר, עוד לפני שהחומר מגיע לווופר. לכן עברנו לשימוש באינפרא-אדום לייבוש הדבק – כדי להפחית את רמת השינויים בתהליך.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים באור אינפרא-אדום שמאפשר חימום מהיר של השכבות השונות. התוצאה היא אחידות בטמפרטורה ברמת הוופר, בטווח של ±0.1°C, מודדת בגבולות החיבור בין השכבות, ולא על פני שטח החימום. המכשיר פועל בחדר נקי, ללא יצירת חלקיקים, וניתן לבדוק את רמת הניקיון באמצעות מעקב אחר החלקיקים בזמן אמת. המכשיר מאפשר ביצוע תהליכי חימום חוזרים בצורה אחידה, עם שליטה קפדנית בטמפרטורה. הוא יכול לעבוד 24/7 בקווי ייצור בעלי קיבולת גבוהה, ללא עצירות בלתי צפויות.
למה זה מתאים לתהליך? בתהליכי ליתוגרפיה וחיבור, יש צורך בחום בדיוק במקומות הנכונים – בשכבות עצמן, ולא בחומר הנושא אותן. אור אינפרא-אדום מאפשר העברה מהירה של אנרגיה למקום הנכון, מה שמקצר את זמן התהליך מבלי לפגוע בממדים החשובים של המוצר. האחידות הגבוהה של הטמפרטורה מבטיחה שהמוצרים יעמדו בתקנים, ומפחיתה את כמות הפסולת. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחום נקלט ישירות, ולא מתפזר בתוך החדר. האפשרות לחזרה על התהליך מבטיחה שליטה טובה יותר בתהליך, ופחות צורך בתיקונים.
מה המציאות בשטח? אור אינפרא-אדום דורש קו ראייה ישיר ושליטה על רמת הפליטה של החום מהצד האחורי של הוופר. אם החומר הנושא אותו הוא מחזיר אור או יש לו מבנה מסוים, האנרגיה תתפזר והמבנה של השכבות ישתנה. יש צורך בזמן קצר ליישור המבנה התרמי עם השכבות השונות. לאחר שהכל מיושם כראוי, התהליך נעשה יציב יותר, ואין יותר שינויים תרמיים שעלולים לפגוע בתהליך.