जब अस्थिर रासायनिक पदार्थों के आसपास वेफरों को गर्म किया जाता है, तो चीजों को सुरक्षित रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है।
ईमानदारी से कहें तो, रासायनिक सफाई प्रक्रिया में वेफरों को गर्म करना बहुत ही जोखिम भरा काम है। वहाँ ज्वलनशील/विस्फोटक वाष्प मौजूद होती हैं, और गर्मी पैदा करने वाले उपकरण भी उसी जगह पर ही होते हैं।
सामान्य इन्फ्रारेड लैंप ऐसे कामों के लिए उपयुक्त नहीं हैं। थोड़ी सी चिंगारी या गर्म सतह के कारण भी विस्फोट हो सकता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु बहुत मेहनत की है… और इसका समाधान तो उपकरणों को ठीक से सील करने में ही है।
सीलिंग ही रहस्य है
हम बस लैंप पर कवर लगाकर काम खत्म नहीं करते। बल्कि, हम इन्फ्रारेड तत्वों को उच्च-शुद्धता वाली क्वार्ट्ज ट्यूबों में रखकर उन्हें वैक्यूम-सील कर देते हैं।
इसे विद्युत तत्वों एवं उनके आसपास की हवा के बीच एक “भौतिक दीवार” के रूप में ही समझें। हम ऐसे विशेष ग्लास-टू-मेटल सीलों का उपयोग करते हैं, ताकि वे हानिकारक रासायनिक वाष्प बाहर न निकल सकें। और यदि आप बहुत ही अपघटक रासायनिक पदार्थों का उपयोग कर रहे हैं, तो हम बाहरी कवर पर रासायनिक-प्रतिरोधी कोटिंग लगा सकते हैं, ताकि क्वार्ट्ज समय के साथ नष्ट न हो।
ऊष्मा एवं स्थिरता का संतुलन
वेफरों पर सही तापमान प्राप्त करना बहुत ही कठिन है। इसके लिए हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उपकरणों का उपयोग करते हैं। ये उपकरण तुरंत ही वेफर की सतह तक पहुँच जाते हैं… इससे रासायनिक तरल का बाकी हिस्सा अत्यधिक गर्म नहीं होता। इससे तापमान अधिक सटीक एवं पूर्वानुमेय रहता है।
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… ऐसे उपकरणों से लैंप बहुत ही गर्म हो जाता है। इसलिए आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि लैंप में पर्याप्त हवा का प्रवाह हो… वरना लैंप टूट सकता है।
वास्तविक दुनिया में इसका उपयोग
हमने ऐसे हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें बिना किसी बदलाव के ही उपयोग में लाया जा सके।
हम वायरिंग को विस्फोट-प्रतिरोधी ट्यूबों में ही रखते हैं… इससे विद्युत आवेशों का जोखिम कम हो जाता है। लेकिन ऐसी सीलिंग के कारण लैंप को चरम तापमान तक पहुँचने में कुछ सेकंड अधिक समय लगता है। यह एक समझौता है… लेकिन जब अस्थिर रासायनिक पदार्थों का उपयोग किया जा रहा हो, तो सुरक्षा ही सबसे महत्वपूर्ण है।
बस इसे एक कैलिब्रेटेड PID कंट्रोलर के साथ ही उपयोग में लाएं… ताकि तापमान +/- 1°C की सीमा में ही रहे। बहुत ही आसान।