Di lantai produksi, seseorang akan belajar dengan cepat: perubahan suhu sebesar 1°C selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk mengubah lebar garis pada wafer tersebut, sehingga wafer berdiameter 300 mm menjadi limbah. Rentang suhu yang diperbolehkan untuk proses pemanasan sangat ketat; tidak ada ruang untuk kesalahan. Keseragaman suhu bukanlah hal yang sekadar diinginkan; hal ini merupakan faktor penentu antara berhasilnya proses produksi atau gagalnya proses tersebut.
Kami merancang lampu pemanas inframerah khusus untuk menjaga kestabilan suhu selama proses produksi berlangsung, dari shift ke shift.
Apa yang penting dalam proses produksi Kami menggunakan pemancar sinar inframerah gelombang pendek yang memiliki kemampuan untuk meningkatkan suhu dengan cepat dan dengan kontrol spektrum yang tepat. Dengan demikian, suhu dapat dicapai dengan cepat dan secara langsung, tanpa terjadi overshoot. Keseragaman suhu pada wafer mencapai ±0,1°C di seluruh area pemanasan, sedangkan tingkat repetibilitas pengaturan suhu mencapai ±0,5°C.
Partikel-partikel pun tidak ikut masuk ke dalam area pemanasan, karena bahan-bahan yang digunakan cocok digunakan di lingkungan ruang bersih, dan jalur cahaya pun tertutup sepenuhnya. Lampu-lampu ini dapat beroperasi hingga lebih dari 5.000 jam, dengan penurunan daya output kurang dari 5%. Ukuran lampu tersebut juga sesuai dengan standar ruang alat yang ada, dan dapat digabungkan dengan sistem kontrol PLC yang sudah ada.
Mengapa hal ini penting dalam proses litografi dan pembungkusan Dalam proses litografi, tingkat repetibilitas yang tinggi memungkinkan terciptanya profil fotoresist yang konsisten, sehingga jumlah produk yang harus diperbaiki berkurang, dan kontrol diameter wafer tetap stabil. Dalam proses pembungkusan, pemanasan yang cepat dan merata mempersingkat waktu perlakuan tanpa menimbulkan tekanan pada lapisan-lapisan bahan yang ada.
Selain itu, karena lampu memanaskan target secara langsung, energi tidak terbuang untuk memanaskan udara di dalam ruangan. Hasilnya adalah proses produksi yang stabil, interval perawatan yang dapat diprediksi, serta penghentian proses yang lebih jarang terjadi.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan Proses pemasangan melibatkan penyetelan optik yang tepat serta penggunaan metode anti-EMI/EMC yang efektif. Refleksi cahaya yang tidak diinginkan dapat menyebabkan munculnya titik panas, sehingga perlindungan dan penghalang cahaya merupakan bagian penting dari proses pemasangan.
Lampu ini dapat beroperasi di ruang bersih kelas 1–100, tetapi kinerja termalnya bergantung pada geometri ruangan dan aliran udara di dalamnya. Berikan kami informasi mengenai spesifikasi alat Anda, dan kami akan menyesuaikan konfigurasinya sesuai kebutuhan.
Proses kalibrasi berjalan dengan cepat. Setelah proses produksi stabil, tingkat repetibilitas antar batch tetap stabil sesuai kebutuhan.