Pada garisan pengeluaran tersebut, wafer berukuran 300mm akan dimasukkan ke dalam stesen pembakaran. Lapisan fotoresist perlu mencapai suhu yang ditetapkan pada seluruh permukaannya dalam masa beberapa saat sahaja. Jika masa ini tidak dipenuhi, kawalan ketepatan CD akan terjejas, dan hasil pengeluaran pun akan terjejas.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan pemanas inframerah jenis gelombang pendek untuk memanaskan ruang bersih tersebut. Ini kerana kita memerlukan pemindahan tenaga yang cepat, bukan yang lambat. Sistem maklum balas tertutup memastikan suhu kekal pada tahap ±0.1°C. Dengan cara ini, kita dapat memastikan keseragaman suhu pada setiap wafer, dan data tersebut boleh diperoleh secara langsung daripada rekod data, tanpa perlu menunggu laporan harian.
Kulit luar pemanas yang diperbuat daripada kuarsa dan badan pemanas yang diperbuat daripada seramik sesuai digunakan dalam ruang bersih kelas 1–100. Ia menghasilkan gas yang sedikit, dan strukturnya mampu mengelakkan penghasilan zarah-zarah halus. Kepadatan tenaga pemanas disesuaikan agar proses pembakaran berjalan dengan lancar, tanpa ada masalah.
Mengapa ini penting dalam proses litografi dan pembakaran
Dalam proses litografi dan pemprosesan wafer, langkah pembakaran merupakan langkah yang memerlukan penggunaan tenaga yang banyak. Dengan kawalan suhu yang tepat, variasi suhu antara setiap baris atau setiap kumpulan wafer dapat dikurangkan. Ini bermakna kurangnya kesilapan, lebih sedikit bahan buangan, dan keseragaman CD yang stabil.
Pemanas ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, dan kekal pada suhu tersebut tanpa berfluktuasi. Ini membolehkan penggunaan tenaga yang lebih efisien. Selain itu, kebolehpercayaan pemanas ini membolehkannya beroperasi 24/7 tanpa memerlukan penyelenggaraan yang kerap.
Apa yang perlu dirancang sebelum memasangnya
Pemanas ini boleh disambungkan dengan mudah ke modul pembakaran yang sedia ada. Namun, anda perlu memastikan bahawa massa haba dan geometri pemasangan pemanas sesuai dengan keperluan bilik bersih tersebut. Pastikan juga jarak antara komponen-komponen tersebut serta lokasi sensor suhu adalah tepat, agar sistem maklum balas tertutup berfungsi dengan baik.
Pastikan voltan dan jenis penyambung yang digunakan sesuai dengan peralatan yang digunakan. Selain itu, pastikan juga bahawa spesifikasi bilik bersih memenuhi keperluan proses pengeluaran anda.