Di bilik pengeluaran semikonduktor, seseorang perlu belajar dengan cepat. Perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk mengubah lebar garisan pada wafer tersebut, sehingga wafer berukuran 300mm itu menjadi tidak boleh digunakan lagi. Tempoh masa yang diperlukan untuk proses pembakaran tersebut sangat ketat – tiada ruang untuk kesilapan. Kestabilan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan; ia merupakan faktor penting yang menentukan sama ada produk dapat dihasilkan dengan berkualiti atau tidak.
Kami telah mencipta mentol pemanas inframerah khas untuk memastikan suhu tetap stabil sepanjang proses pengeluaran.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami menggunakan pemancar sinar NIR berfrekuensi rendah – yang membolehkan suhu naik dengan cepat dan kawalan spektrum yang tepat. Dengan cara ini, suhu dapat dicapai dengan cepat dan tanpa berlaku penyelewengan. Kestabilan suhu pada tahap wafer adalah antara ±0.1°C, manakala ketepatan penetapan suhu pula adalah antara ±0.5°C.
Zarah-zarah kotor tidak akan masuk ke dalam sistem kerana bahan-bahan yang digunakan sesuai untuk digunakan dalam persekitaran bilik bersih, dan laluan cahaya juga dilindungi sepenuhnya. Mentol-mentol ini boleh beroperasi selama lebih dari 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Saiz mentol ini sesuai untuk dimasukkan ke dalam ruang alat yang biasa digunakan, dan ia juga boleh dikawal menggunakan sistem PLC yang sedia ada.
Mengapa ini penting dalam proses litografi dan pembungkusan
Dalam proses litografi, ketepatan suhu ini memastikan profil fotoresist yang konsisten, mengurangkan keperluan untuk memproses semula produk, dan memastikan kawalan ketepatan diameter wafer. Dalam proses pembungkusan pula, pemanasan yang cepat dan seragam membantu memendekkan masa pemprosesan tanpa memberi tekanan pada struktur wafer.
Oleh kerana mentol ini memanaskan objek yang dituju secara langsung, tenaga tidak dibazirkan untuk memanaskan udara di dalam bilik pengeluaran. Hasilnya, proses pengeluaran menjadi lebih stabil, jadwal penyelenggaraan dapat diramalkan dengan tepat, dan gangguan dalam proses pengeluaran dapat dikurangkan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Proses pemasangan melibatkan penyesuaian optik dan penggunaan teknik EMI/EMC yang efektif. Refleksi cahaya yang tidak diinginkan boleh menyebabkan kawasan panas, jadi perlu ada perlindungan yang sesuai. Mentol ini boleh beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, namun prestasinya bergantung pada geometri bilik pengeluaran dan aliran udara. Berikan kami maklumat mengenai alat yang digunakan, dan kami akan menyesuaikan konfigurasi mentol tersebut mengikut keperluan anda.
Proses pensijilan mentol ini berlangsung dengan cepat. Setelah proses pengeluaran disetkan dengan betul, ketepatan setiap proses pengeluaran akan kekal stabil.