Op de lithografieafdeling wordt een temperatuurverschuiving van de PEB niet weergegeven door een waarschuwingslamp. In plaats daarvan zie je dat de lijndiktes veranderen, dat de dosismarge afneemt en dat er afval ontstaat dat pas later wordt opgemerkt. We hebben deze nachtverwarmingsunit ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen, want de chemie van de fotorezyst kan geen fouten tolereren wanneer de temperatuur buiten het gewenste bereik valt.
Wat technisch gezien belangrijk is
We gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht met een kwarts-halogeenontwerp. Hierdoor wordt de warmte rechtstreeks overgedragen op de wafer. Hierdoor is er minder thermische inertie en kan de temperatuur sneller worden geregeld. Op het oppervlak van de verwarmingseenheid blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van ±0,1°C. De stabiliteit van de temperatuur is voldoende hoog zodat de cruciale afmetingen niet sterk variëren van batch tot batch.
De unit past in een schoonruimte van klasse 1–100. De materialen en sluitingen zijn zodanig gekozen dat er geen particules worden gegenereerd, terwijl de afvalgassen onder controle blijven. In productie moet deze unit constant blijven draaien – deze verwarmingseenheid is ontworpen voor 24/7 gebruik, zonder ongeplande stilstand, zelfs wanneer het schema geen onderbrekingen toestaat.
Waarom het werkt waar het nodig is
Tijdens het proces met fotorezyst is de PEB-stap belangrijk voor de chemische verwerking die uiteindelijk het patroon bepaalt. Deze warmteunit zorgt ervoor dat de temperatuur stabiel blijft, ongeacht of er sprake is van een zachte, harde of gemiddelde verhitting.
Hierdoor krijgt men betere controle over de afmetingen, minder herwerkingsnoden en een betrouwbaar productiekwaliteitsniveau. Dankzij efficiënte warmteoverdracht en nauwkeurige temperatuurregeling neemt het energieverbruik af. Bovendien worden de onderhoudsintervallen langer, omdat de componenten stevig zijn en het thermische ontwerp goed is ontworpen.
Dingen om in gedachten te houden
De installatie is eenvoudig, maar voor de integratie moet je wel rekening houden met de afvoerpathen, het zuiveren van de gassen en de bestaande veiligheidsmechanismen. Zorg ervoor dat je bestaande controller in staat is om mee te gaan met de responstijd van de warmteunit. Als de PID-loop te langzaam is, kun je niet optimaal profiteren van de snelheid van de warmteunit.
Voer eerst een klein aantal tests uit om de temperatuurprofielen te vergelijken met de gegevens over de lijndiktes. Daarna kun je de instellingen vastleggen.