Op de productielijn hebben thermische schommelingen tijdens het ‘burn-in’-proces en het behandelen van de fotoresist invloed op de kwaliteit van het eindproduct. Een niet-uniformiteit van 0,5°C over het oppervlak van de wafer zorgt voor een gradient in de fotoresist. Deze gradient leidt na de belichting en ontwikkeling tot dimensionele fouten. Het is belangrijk om de hitte als een echte procesparameter te behandelen, en niet als een onvoorspelbare factor.
Wat er belangrijk is Voor onze tests hebben we verlichtingsapparaten gebruikt die zijn gebaseerd op kortegolf-NIR-kwartsemitters. Deze emitters leveren energie snel en gericht af, met nauwkeurige controle over het spectrum. Hierdoor wordt de temperatuur op het oppervlak van de wafer gelijkmatig gehouden, binnen ±0,1°C. Bovendien zijn de belichtingsprocessen herhaalbaar en kan men stabiele temperatuursveranderingen bereiken. Het systeem is ontworpen om te werken in schone ruimtes van klasse 1–100. Er worden materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, en de mechanische opzet zorgt ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen op de plek waar de hitte wordt gegenereerd. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsverschil. Hierdoor blijft de thermische situatie consistent van batch tot batch.
Waarom dit geschikt is voor jouw behoeften Tijdens het ‘burn-in’-proces en andere tests moet de chip blootstaan aan een echte thermische stress. Er mogen geen afwijkingen veroorzaakt worden door het pakket rondom de chip. In de fotolitografie moet de fotoresist eveneens gelijkmatig worden behandeld, van rand tot rand over het hele oppervlak van de wafer. Onze verlichtingsapparaten zorgen voor deze precisie, terwijl de energieverbruik laag blijft en de onderhoudsintervallen lang zijn. Hierdoor krijg je betere controle over de dimensies van de chip, minder herwerkingen, en een betrouwbare prestatie – zonder dat je ’s nachts nog last hebt van temperatuurschommelingen.
Wat je in de gaten moet houden Deze verlichtingsapparaten zijn compact, maar ze hebben een hoge thermische dichtheid. Ze moeten goed geïsoleerd worden van aangrenzende modules, anders kunnen nabijgelegen polymeren en kabels beschadigen. Ze passen gemakkelijk in standaardinstallaties, maar de toleranties voor de alignering tussen de emitter en de wafer zijn strikt. Stel de instellingen één keer in, documenteer ze en zorg dat ze constant blijven.