На линии 300-миллиметровые пластинки перемещаются в зону обработки при высоких температурах. Фотолитографическая смесь должна достигнуть необходимой температуры по всей поверхности пластинки в течение нескольких секунд. Если этого не произойдет, качество готовых изделий будет нарушено.
Что имеет значение внутри устройства
Мы создали инфракрасные нагреватели для чистых помещений, используя источники коротковолнового инфракрасного излучения. Это необходимо для быстрой передачи энергии без лишних помех. Замкнутый контур обратной связи обеспечивает стабильность температуры в пределах ±0,1°C. Благодаря этому обеспечивается однородность температуры на всей поверхности пластинки; значения можно прочитать непосредственно из записей датчиков, без необходимости анализа отчетов о работе оборудования.
Кварцевая оболочка и керамический корпус разработаны для использования в чистых помещениях класса 1–100: они обеспечивают минимальное количество выделения газов и полный отсутствие пыли. Плотность мощности регулируется таким образом, чтобы процесс обработки проходил стабильно как при мягкой, так и при жесткой обработке – без перегрузок.
Почему это важно в процессах литографии и обработки пластинок
В процессах литографии и обработки пластинок именно на этапе обработки при высоких температурах тратится больше всего энергии. Благодаря точному контролю температуры снижается вариабельность между отдельными партиями продукции. Это способствует снижению количества бракованных изделий и поддержанию стабильности качества продукции.
Нагреватели быстро достигают заданной температуры и сохраняют ее без колебаний, что позволяет снизить расход энергии. Кроме того, устройства рассчитаны на круглосуточную работу с минимальным количеством технического обслуживания.
Что нужно учитывать перед установкой
Эти нагреватели можно легко интегрировать в существующие модули обработки, но необходимо учитывать параметры теплового характеристик и геометрию крепления камеры. Необходимо заранее определить условия работы интерфейса: расстояния между элементами, их ориентацию, а также местоположение датчиков температуры. Также необходимо учитывать параметры напряжения и тип разъемов, соответствующие вашему оборудованию, а также требования к чистоте помещения для данного процесса.