На производственном полу можно быстро научиться работать: даже небольшое изменение температуры в 1°C во время процедуры обжига фоторезиста может привести к изменению ширины линий на пластине, что делает такую пластину бесполезной для дальнейшего использования. Допуски при температурном регулировании очень строги – здесь нет места для ошибок. Термическая однородность не является просто желательной характеристикой; она определяет успех процесса производства.
Мы разработали инфракрасные нагревательные лампы специально для поддержания стабильных температурных условий в процессе производства, снова и снова.
Что важно при эксплуатации
Мы используем излучатели с короткими волнами – это позволяет быстро достичь нужной температуры без перегрева. Благодаря этому температура в зоне обжига остается однородной в пределах ±0,1°C, а точность установки температуры составляет ±0,5°C.
Частицы не попадают в зону обжига, поскольку материалы, используемые в конструкции ламп, соответствуют требованиям чистых комнат, а оптический путь полностью защищен. Лампы могут работать более 5 000 часов с падением эффективности менее чем на 5%. Их размеры соответствуют стандартным размерам оборудования, а они легко интегрируются в существующие системы управления.
Почему это важно в литографии и упаковке
В литографии такая однородность способствует получению стабильных профилей фоторезиста, сокращает количество необходимых корректировок и обеспечивает стабильность контроля размеров деталей. В упаковке быстрое и равномерное нагревание сокращает время обработки, не создавая избыточной нагрузки на структуру изделия.
Кроме того, поскольку лампа нагревает объект напрямую, не тратится энергия на нагрев воздуха в камере. Это обеспечивает стабильные условия производства, предсказуемый интервал технического обслуживания и минимальное количество непланированных остановок.
Что необходимо учесть при установке
Основные задачи при установке связаны с оптической настройкой и соблюдением правил борьбы с помехами. Отражения света могут привести к возникновению «горячих точек», поэтому защита от помех является неотъемлемой частью процесса установки.
Лампы можно использовать в чистых комнатах класса 1–100, но их термические характеристики зависят от геометрии камеры и распределения потока воздуха. Предоставьте нам информацию о вашем оборудовании, и мы скорректируем настройки в соответствии с этими данными.
Процесс калибровки происходит быстро. Как только процесс становится стабильным, повторяемость результатов остается на необходимом уровне.