На линиях производства с диаметром пластины 300 мм процесс высыхания клея не является просто ещё одним термическим этапом. Это фактор, влияющий на размеры изделия. Небольшие отклонения могут привести к изменению структуры фотополимера, что в свою очередь вызывает смещение слоев и снижение качества изделия ещё до того, как ретикула сможет соприкоснуться с пластиной. Поэтому мы перешли на использование инфракрасного излучения для обработки клея — это помогает устранить факторы неопределенности в процессе.
Что действительно важно Мы используем ближнее инфракрасное излучение для нагрева слоев клея и фотополимера. Это позволяет добиться однородности температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Температура измеряется на границе слоев, а не на поверхности нагревателя. Устройство работает в чистой комнате без каких-либо проблем; оно соответствует стандартам класса 1–100, не создает частиц, что подтверждается контролем за количеством частиц в реальном времени. Устройство позволяет выполнять процессы нагрева с точным контролем температуры, что делает его пригодным для использования на производствах с высокой производительностью, круглосуточно, без простоев.
Почему это подходит для данного процесса В процессах литографии и склеивания необходимо обеспечить нагрев именно в тех местах, где это важно — в самом слое пленки, а не в носителе. Ближнее инфракрасное излучение обеспечивает быстрый и точный нагрев, что сокращает время обработки без изменения критических размеров изделия. Высокая однородность температуры позволяет сохранять параметры изделий в пределах допусков, что снижает количество бракованных изделий. Потребление энергии снижается, так как тепло поглощается непосредственно в слое пленки, а не распределяется по всей камере. А повторяемость процесса позволяет сделать контроль качества более точным, а количество необходимых корректировок — минимальным.
Реалии использования Для работы ближнего инфракрасного излучения необходим прямой видимый луч и контролируемая эмиссивность на обратной стороне пластины. Если носитель имеет отражающую поверхность или текстуру, это может привести к рассеиванию энергии и изменению профиля нагрева. Необходимо время на настройку профиля нагрева под конкретные условия использования клея и подложки. Как только все настроено правильно, процесс становится стабильным, и больше нет проблем, связанных с температурными колебаниями.