На производственных линиях температурные колебания во время процедур закалки чипов и обработки фотополимера не только снижают качество продукции, но и полностью уничтожают его. Неравномерность температуры в 0,5°C на поверхности пластины приводит к возникновению градиента температур в самом фотополимере; этот градиент затем превращается в размерные ошибки после процедур экспозиции и обработки. Необходимо использовать температуру как настоящий процессный параметр, а не как фактор, влияющий случайным образом.
Что действительно важно Для тестирования чипов мы используем нагревательные лампы на основе кварцевых излучателей коротковолнового инфракрасного спектра. Они быстро и эффективно передают энергию, при этом обеспечивается строгий контроль спектра излучения. Благодаря этому достигается однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Также обеспечивается последовательность температурных процедур от мягкой до интенсивной обработки. Система разработана таким образом, чтобы соответствовать требованиям чистых комнат классов 1–100: используются материалы с низким уровнем выбросов газов, а конструкция обеспечивает отсутствие частиц прямо в зоне нагрева. Выходная мощность остается стабильной в течение более 5,000 часов, с девиацией интенсивности менее 5%, что позволяет сохранять стабильность температурных параметров при производстве различных партий продукции.
Почему это подходит для вашей работы В процедурах закалки чипов и тестирования необходимо, чтобы чип испытывал реальные температурные нагрузки, без внешних факторов, влияющих на результаты тестов. В процессе литографии фотополимер требует однородной температуры по всей поверхности пластины. Наши лампы обеспечивают такую точность, при этом потребление энергии минимально, а периоды технического обслуживания длинные. Это позволяет получать более точные результаты контроля размеров деталей, сокращать количество партий продукции, требующих переработки, и планировать время работы оборудования без необходимости постоянного контроля за температурой в ночное время.
Чего нужно учитывать Эти лампы имеют компактные размеры, но высокую тепловую плотность. При установке необходимо обеспечить правильную теплоизоляцию от соседних модулей, а также правильную систему вывода тепла. В противном случае могут повредиться соседние полимеры и кабели. Лампы можно устанавливать в стандартные крепления, но требуется строгий контроль за расположением излучателя относительно пластины. Необходимо задать параметры установки один раз, задокументировать их и сохранять их неизменными.