บนพื้นโรงงาน การมีเวเฟอร์เปียกถือเป็นความเสี่ยงที่คุณไม่สามารถรับได้ ความชื้นที่หลงเหลือจะทำให้เกิดการพังทลายของรูปแบบหลังจากการสัมผัส และโปรไฟล์การอบที่ผิดพลาดแม้เพียงเล็กน้อยจะทำให้ขนาดที่สำคัญของคุณเปลี่ยนไป นี่คือเหตุผลที่โคมไฟสำหรับอบเวเฟอร์เซลล์แสงอาทิตย์มีอยู่: เพื่อลดการคาดเดาในกระบวนการอบเวเฟอร์ การอบฟิล์มเรซินที่อ่อน และการอบฟิล์มเรซินที่แข็ง การอบยาขัดบรรจุภัณฑ์ และการอบหลังการทำความสะอาด เราออกแบบโคมไฟนี้โดยใช้แหล่งกำเนิดแสงฮาโลเจนในช่วงใกล้อินฟราเรด (NIR) ในการประกอบควอตซ์ จุดประสงค์คือการให้ความร้อนที่รวดเร็วและมีทิศทางพร้อมมวลความร้อนต่ำ ซึ่งแปลว่า การตั้งค่าคงที่และการควบคุมที่เข้มงวด: ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ ±0.1°C ในโซนที่ถูกส่องสว่าง การตอบสนองจากจุดตั้งค่าถึงเวเฟอร์ที่สามารถทำซ้ำได้ และการก่อสร้างที่เข้ากันได้กับห้องสะอาดในระดับ Class 1–100
เอาท์พุตยังคงมีเสถียรภาพในระยะยาวด้วย หน่วยภาคสนามได้บันทึกเวลาใช้งานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเบี่ยงเบนของความเข้มแสงน้อยกว่า 5% และเรายังรักษาการสร้างอนุภาคให้น้อยด้วยเส้นทางออปติคัลที่ปิดผนึกและวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ ดังนั้นการปนเปื้อนจึงไม่เข้าไปในห้องกระบวนการ
ในกระบวนการลิธอกราฟี โคมไฟนี้สามารถอบเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็วโดยไม่มีรอยด่างจากตัวทำละลาย จากนั้นจึงทำการอบฟิล์มเรซินที่อ่อนและฟิล์มเรซินที่แข็งที่อุณหภูมิที่มีเสถียรภาพซึ่งปกป้องขนาดและเป้าหมายโปรไฟล์ ในการบรรจุภัณฑ์ มันช่วยเร่งการอบยาขัดโดยไม่ทำให้เกิดการเกินงบประมาณความร้อนของวัสดุรองรับ หลังจากการทำความสะอาดด้วยน้ำ มันทำให้เวเฟอร์ที่มีลวดลายแห้งสะอาด—ไม่มีรอยน้ำ—ดังนั้นคุณจึงลดการทำงานซ้ำ
การใช้พลังงานถูกจัดการด้วยการให้ความร้อนแบบ Duty-cycled และการถ่ายโอนที่มีประสิทธิภาพไปยังเวเฟอร์ ดังนั้นคุณจึงรักษาความสามารถในการผลิตในขณะที่ค่าดำเนินการลดลง
การติดตั้งขึ้นอยู่กับรายละเอียด ตรวจสอบให้แน่ใจว่าการจัดแนวออปติคัลถูกต้องและให้แน่ใจว่าตัวโคมไฟมีการระบายอากาศเพียงพอ; การถ่ายโอนความร้อนจะเปลี่ยนไปหากระยะห่างแตกต่างออกไปแม้เพียงไม่กี่มิลลิเมตร โคมไฟทำงานได้ดีที่สุดบนพื้นผิวเรียบ สะท้อนแสง หรือพื้นผิวสีเข้ม พื้นผิวที่มีการเทกเจอร์สูงหรือไม่สม่ำเสมอจะทำให้เกิดการเคลื่อนที่ของอุณหภูมิในท้องถิ่น ดังนั้นจึงควรวางแผนอุปกรณ์ของคุณให้ตรงกับเส้นทางของเวเฟอร์
ตรวจสอบสเปคแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อให้ตรงกับเครื่องมือของคุณ เมื่อการตั้งค่าถูกปรับให้เข้าที่ คุณจะขยายหน้าต่างกระบวนการและลดเวลาในการทำงาน—โดยไม่สูญเสียผลผลิต