Hat üzerinde, 300 mm’lik yonga fırınlama istasyonuna yerleştiriliyor. Fotorezistin tüm yüzeyinde belirlenen sıcaklığa saniyeler içinde ulaşması gerekiyor. Bu süre zarfını kaçırırsanız, CD kalitesi düşmeye başlar ve bu da üretim veriminizi olumsuz etkiler.
Arka plandaki önemli faktörler
Temiz oda tipi kızılötesi ısıtıcıları, hızlı ve doğrudan enerji aktarımı gerektiği için kısa dalga boylu NIR kaynakları üzerine tasarladık. Kapalı döngü kontrol sistemi sayesinde termal profil ±0,1°C aralığında sabit tutulur. Böylece wafonun her bölgesindeki sıcaklık değerleri doğrudan veri kayıtlarından okunabilir; vardiya raporlarında arama yapmaya gerek kalmaz.
Kuarz kaplaması ve seramik gövde, 1–100 sınıfı temiz odalar için uygundur: Düşük gaz salınımı ve parçacık üretiminin sıfır seviyesinde tutulması sağlanır. Güç yoğunluğu ise işlem koşullarına göre ayarlanır; böylece hem yumuşak hem de sert fırınlama işlemlerinde stabil bir performans elde edilir.
Litoğrafi ve fırınlama işlemlerindeki avantajları
Litoğrafi ve waffle işlemlerinde fırınlama adımı, en çok enerjinin harcandığı aşamadır. Tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü sayesinde, hatlar arasındaki ve partiler arasındaki farklar azalır. Bu da daha az hata, daha az atık ve daha stabil bir CD kalitesi anlamına gelir.
Isıtıcı, belirlenen sıcaklığa hızla ulaşır ve titremeden orada kalır; böylece enerji tüketimi azalır. Ayrıca, bu cihazlar 24/7 çalışabilmek üzere tasarlanmıştır ve minimum bakım gerektirir.
Monte etmeden önce planlamanız gerekenler
Bu ısıtıcılar mevcut fırınlama modüllerine kolayca entegre edilebilir; ancak termal kütle ve montaj geometrisinin oda koşullarına uygun olması gerekmektedir. Arayüzün erken aşamada planlanması gerekir – mesafe, hizalama ve sıcaklık sensörünün yerleştirileceği nokta, kapalı döngü performansını belirler. Ayrıca, ekipmanınıza uygun voltaj ve bağlantı tipini seçmelisiniz ve belirli işlemler için gerekli olan temiz oda sınıflandırma gerekliliklerini de kontrol etmelisiniz.