Üretim alanında hızlı bir şekilde öğrenilir: Foto dirençlerin pişirilmesi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile çizgi genişliklerini değiştirebilir ve 300 mm’lik waferleri işe yaramaz hale getirebilir. Yumuşak ve sert pişirme süreçleri oldukça hassastır; herhangi bir tolerans payı yoktur. Termal tutarlılık sadece istenen bir özellik değildir; verimliliği sağlamak ya da kaybetmek arasındaki fark budur.
Bu nedenle, termal dengeyi korumak için yarı iletken infrared ısıtıcılar geliştirdik. Bu ısıtıcılar sayesinde sıcaklığa hızlı ve doğrudan ulaşılır; ayrıca aşırı ısınma da engellenir. Pişirme bölgesinde waferler arası sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır ve ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C’dir.
Parçacıklar içeri girmez; çünkü kullanılan malzemeler temiz oda koşullarına uygun olup optik yol tamamen kapalıdır. Lambalar 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilik kaybı %5’in altındadır. Boyutları standart ekipman alanlarına uygundur ve mevcut PLC kontrol sistemleriyle kolayca entegre edilebilir.
Lithografi ve paketleme alanlarında ne gibi avantajlar sağlar? Lithografi alanında bu tekrarlanabilirlik, tutarlı foto direnç profilleri, daha az yeniden işlem gerektiren ürünler ve sabit kalitede ürünler anlamına gelir. Paketleme alanında ise hızlı ve eşit ısıtma, ürünlerin kuruma sürecini kısaltır ve ürünler üzerindeki baskıyı azaltır.
Ayrıca lamba, hedef alanı doğrudan ısıttığı için odadaki havayı ısıtmak için enerji israf edilmez. Böylece stabil işlem koşulları, öngörülebilir bakım aralıkları ve planlanmamış duruşlar en aza indirgenir.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler Kurulum, optik hizalama ve etkili EMI/EMC önlemleriyle ilgilidir. Yanlış yansımalar sıcak noktaların oluşmasına neden olabilir; bu yüzden koruma ve engelleme önlemleri de gereklidir.
Lambalar Class 1–100 temiz odalarda çalışabilir; ancak termal performans, odanın geometrisine ve hava akışına bağlıdır. Lütfen bize ekipmanınızın özelliklerini bildirin; biz de buna göre yapılandırmayı ayarlayacağız.
Kalifikasyon süreci oldukça hızlıdır. İşlem bir kez belirlendikten sonra, her seferinde aynı sonuçlar elde edilir.