Üretim alanında, termal dalgalanmalar, her zaman görülemeyen, ürün kalitesini düşüren bir faktördür. Fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir değişiklik bile kritik boyutları bozabilir. Temizleme işleminden sonra eşit olmayan kuruma süreci ise su lekelerine yol açar ve bu lekeler ilerleyen aşamalarda kusurlara dönüşebilir. Bu tür belirsizlikleri ortadan kaldırmak için “Lab on Chip” tipi kurutma ısıtıcıları kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar Kvars-halojen vericiler kullanarak kısa dalga infrakızıl ışınlar sağlıyoruz; bu sayede hızlı ve temiz bir enerji aktarımı gerçekleşiyor ve sıcak noktaların oluşması engelleniyor. Aktif alan genelinde yonga seviyesindeki eşitlik ±0,1°C civarında oluyor ve ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C civarındadır. Bu da her bir yumuşak ve sert pişirme işleminin aynı termal koşullar altında gerçekleştiği anlamına gelir.
Sıcaklık artış hızı 2°C/s olarak kontrol ediliyor ve aşırı sıcaklık durumları engelleniyor. Bu özellik, ince filmelerdeki çözücülerin zarar görmeden uzaklaştırılmasında çok önemlidir. Tasarım, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde yapılmıştır; sıcak bölgede hiçbir parça oluşmaz, egzoz sistemi izole edilmiştir ve HEPA filtreleriyle uyumlu bir yapıya sahiptir. Güç yoğunluğu, gradyanların oluşmasını engelleyecek şekilde ayarlanmıştır ve CE sertifikalı güç ve sinyal arayüzleri sayesinde standart işlem ekipmanlarıyla entegre edilebilir.
Neden bu yöntem işe yarıyor? Yonga kurutma işleminde ısı hızlı ve eşit bir şekilde dağıldığından yüzey gerilimi hızla azalır. DI yıkama işleminden sonra yüzey tamamen temiz hale gelir ve su damlaları oluşmaz. Litografide ise yumuşak ve sert pişirme işlemleri son derece düzenli bir şekilde gerçekleşir; CD’lerin boyutları sabit kalır ve kenarların pürüzlülüğü azalır.
Paketleme aşamasında ise ısıtıcı, kaplama maddelerinin ve dolgu maddelerinin kontrollü bir şekilde kurumasını sağlar. Böylece yapışma gücü artar ve hava boşlukları en aza indirgenir. Pratik olarak bu sayede daha az yeniden işleme gerekiyor, işlem süreleri stabil kalıyor ve hassas kontrol sayesinde enerji tüketimi öngörülebilir hale geliyor.
Planlarken dikkat edilmesi gereken detaylar Isıtıcının, ±0,1°C’lik eşitliği koruyabilmek için sabit bir voltaj kaynağına ihtiyacı vardır. Eğer voltaj %2’den fazla değişirse, ayarlar tekrar gözden geçirilmelidir. Montaj sırasında egzoz sisteminin doğru şekilde yerleştirilmesi gerekiyor; böylece sıcak bölge çevresel etkenlerden izole edilmiş olur.
Ayrıca her 5.000 saatte bir, sertifikalı referans sensörler kullanılarak kalibrasyon yapılmalıdır. Bu sayede belirlenen eşitlik ve tekrarlanabilirlik değerleri korunmuş olur.